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電離真空計IRG080型它的原理是什么？-INFICON英福康

電離真空計是基于在一定條件下，待測氣體的壓力與氣體電離產(chǎn)生的離子流呈正比關系的原理制作的真空測量儀器。

由筒狀收集極，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構成，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。

電離真空計IRG080型原理

在低壓強氣體中，氣體分子被電離生成的正離子數(shù)與氣體壓強成正比。電離真空計是基于在一定條件下，待測氣體的壓力與氣體電離產(chǎn)生的離子流呈正比關系的原理制作的真空測量儀器。

按照離子產(chǎn)生的方法不同，利用熱陰極發(fā)射電子使氣體電離的真空計叫熱陰極電離真空計；其中，熱陰極電離真空計由熱陰極規(guī)管和測 量儀器組成。測量儀器由規(guī)管工作電源、發(fā)射電流穩(wěn)壓器、離子流測量放大器等部分組成。熱陰極電離規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相通。熱陰極電離規(guī)管是一個三極管，管內(nèi)有陰極、柵極和收集極。收集極電位相對于陰極電負電位；柵極相對于陰極 電正電位。當電離規(guī)管通電加熱后，陰極發(fā)射電子，在電子到達柵極的過程中，與氣體分子碰撞而產(chǎn)生正離子和電子的電離現(xiàn)象。當發(fā)射電流一定時，正離子數(shù)目與被測氣體壓強成正比。正離子被收集極收集后，經(jīng)測量電路放大，可由批示電表讀出所要測量的真空度。

熱陰極電離真空計規(guī)管類似一支三極管，如圖a所示，由筒狀板極(離子收集極)C，柵極網(wǎng)G和位于柵極網(wǎng)中心的陰極燈絲F構成，筒狀板極在陽極柵網(wǎng)外面。

圖b是其外控電路，柵極電位在+100~+300V之間，板極的電位在0~-50V之間。陰極燈絲F通電發(fā)熱后便發(fā)射電子，由于陽極柵網(wǎng)G為正電壓，發(fā)射出的電子被加速，電子與內(nèi)部的氣體分子相碰，使氣體分子發(fā)生電離，氣體壓強大，氣體的密度就大，碰撞機會越多，產(chǎn)生的正離子也越多。正離子在筒狀板極負電壓的作用下，吸引正離子形成板極電流，氣體分子密度越大(即壓強越大)，板極電流也越大，反之就小。在測量范圍內(nèi)板極電流與被測壓強成正比。

真空系統(tǒng)暴露大氣后，電離規(guī)玻璃泡和電極表面會吸附很多氣體，在真空環(huán)境下，氣體又被釋放出來，影響測覺精度。為消除這種影響，在測量前必須對規(guī)管進行除氣。電離規(guī)管除氣采用烘烤方法，即給燈絲和柵極可分別通電加熱，板極則采用高頻感應加熱或電子轟擊，使氣體在測量前被釋放出來。一般電離真空計都具有除氣功能，當真空度大于1×10^-2Pa時，按說明書要求對電離規(guī)管進行除氣 。

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